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更新時間:2023-11-29
廠商性質:生產廠家
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| 技術參數 | ||
| 測量行程 | 平面行程&高度行程 | 以產品測量要求而定 |
| 測量精度 | XY軸 | (2.0+L/250)µm |
| Z軸 | (2.5+L/100)µm | |
| L為被測物長度,單位為mm | ||
| 重復精度 | ≤2μm | |
| 移動速度 | X/Y軸 | ≤200mm/s |
| Z軸 | ≤100mm/s | |
| 測量節拍 | 常規尺寸點秒級別 | |
| 儀器尺寸及重量 | 以實際情況而定 | |
| 承載重量 | 25kg | |